壓阻式壓力傳感器是首批商業(yè)化的MEMS器件之一。與電容式壓力傳感器相比，它們更易于與電子設(shè)備集成，響應(yīng)更線性，并且固有地屏蔽了射頻噪聲。然而，它們?cè)谶\(yùn)行期間通常需要更多功率，并且傳感器的基本噪聲限制高于其電容對(duì)應(yīng)物。從歷史上看，壓阻式器件一直在壓力傳感器市場(chǎng)占據(jù)主導(dǎo)地位。

　一、壓阻式壓力傳感器功能

　傳感器中的電阻變化通常使用惠斯通電橋電路測(cè)量（如下圖所示）。這允許將傳感器電阻的微小變化轉(zhuǎn)換為輸出電壓。壓阻式應(yīng)變儀測(cè)量是使用惠斯通電橋電路進(jìn)行的需要向電橋提供激勵(lì)電壓。當(dāng)沒(méi)有應(yīng)變并且電橋中的所有電阻都平衡時(shí)，輸出將為零伏。壓力的變化將導(dǎo)致電橋中電阻的變化，從而產(chǎn)生相應(yīng)的輸出電壓或電流。這是如何計(jì)算的，如下面的公式所示。

　性能可以通過(guò)在電橋中使用兩個(gè)或四個(gè)傳感元件來(lái)提高，每對(duì)中的元件受到相等和相反的應(yīng)變。這增加了輸出信號(hào)并且可以最小化溫度對(duì)傳感器元件的影響。

　二、壓阻式壓力傳感器的傳感元件

　應(yīng)變儀元件可以由金屬或半導(dǎo)體材料制成。金屬應(yīng)變片的電阻變化主要是由于材料幾何形狀（長(zhǎng)度和橫截面積）的變化。在一些金屬中，例如鉑合金，壓阻效應(yīng)可以將靈敏度提高兩倍或更多。在半導(dǎo)體材料中，壓阻效應(yīng)占主導(dǎo)地位，通常比幾何形狀的貢獻(xiàn)大幾個(gè)數(shù)量級(jí)。